CNC-Bearbeitung für die Halbleitertechnik

Teile für Halbleiteranlagen

KGL fertigt ultrapräzise Komponenten für Hersteller von Halbleiteranlagen. Unsere fünfachsigen Mazak-Zentren und das Hexagon-Koordinatenmessgerät (0,0015 mm Genauigkeit) erreichen die geometrische Präzision und Oberflächengüte, die Halbleiteranwendungen verlangen.

Typische Teile

• Kammerkomponenten und Abschirmungen
• Elektroden- und Focus-Ring-Komponenten
• Präzise Montageplatten
• ESD-kritische Komponenten aus leitfähigen Kunststoffen

Werkstoffe

Aluminium (6061-T6, 7075), Edelstahl (316L, 17-4PH), PEEK, PEEK1000, PEI, ESD225, ESD420 und leitfähiges Nylon.

Beleg an der Toleranzgrenze

Im Jahr 2025 lieferte KGL ein Kernpräzisionsteil aus SUS304 für eine Halbleiterfertigungsanlage, gefertigt für den weltweit führenden Hersteller von Lithografieanlagen: Bauraum 150 x 45 x 6 mm, dünnste Wand 0,3 mm, Oberflächenganforderung Ra 0,4 µm, Ebenheit, Position und Koaxialität alle innerhalb von 0,01 mm, dazu Mikrobohrungen von 0,1 mm Durchmesser. Das Teil bestand die vollständige Maßprüfung auf unserem Hexagon-Koordinatenmessgerät. Im Anwendungsbeispiel Dünnwandteile beschreiben wir, wie wir Wärme- und Spannverzug bei solchen Teilen beherrschen.